Central Position Ra Standard deviation Ra Standard deviation mm um um um um 1.3 deg. 1.1 deg. 1 2.76 0.055 2.735 0.065 6 2.67 0.095 2.595 0.105 11 2.49 0.05 2.39 0.13 16 2.26 0.135 2.055 0.075 20 1.84 0.105 1.525 0.1